CAJ | 학술논문

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)浸渍提拉法(基于组装的小型提拉装置)在普通玻璃片上制备出ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、数字式四探针测试仪等检测手段分别对其进行了分析比较.结果表明:Al3+浓度为1.0%的ZAO薄膜表面最为致密均匀;随着退火温度的提高,薄膜的晶体平均粒径明显增大,电阻率逐渐减小;不同掺Al量的ZAO薄膜在可见光区的平均透光率均在70%以上,当Al3+浓度为1.5%时,550℃退火2h,电阻率最小,为5.9×10-2Ω*cm.
채용용효-응효(Sol-Gel)침지제랍법(기우조장적소형제랍장치)재보통파리편상제비출ZnO∶Al(ZAO)박막,이용소묘전자현미경、자외-가견분광광도계、수자식사탐침측시의등검측수단분별대기진행료분석비교.결과표명:Al3+농도위1.0%적ZAO박막표면최위치밀균균;수착퇴화온도적제고,박막적정체평균립경명현증대,전조솔축점감소;불동참Al량적ZAO박막재가견광구적평균투광솔균재70%이상,당Al3+농도위1.5%시,550℃퇴화2h,전조솔최소,위5.9×10-2Ω*cm.