MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展
MEMS중영자재료적미세가공기술연구진전
Research development of micromachining technologies of permanent magnetic materials in MEMS
  • 万方数据
    传感器与微系统 전감기여미계통
    TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
    2011年 5期 1-4,7 ,共5页

    陶凯%丁桂甫%杨卓青%王佩红%吴义伯%汪红%王艳

    도개%정계보%양탁청%왕패홍%오의백%왕홍%왕염

    微机电系统%永磁材料%永磁薄膜%微细加工 微機電繫統%永磁材料%永磁薄膜%微細加工
    미궤전계통%영자재료%영자박막%미세가공
    概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点.
    개술료영자재료재미궤전계통(MEMS)중집성제조방법적연구진전,총결료당전용우제조영자박막적전침적、천사、맥충격광침적(PLD)화점결자체미도형화등4충주요가공기술적우결점화연구현상,병대미래적발전방향제출료일사관점.
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