材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
18期
139-141
,共3页
曹培江%赖国霞%柳文军%贾芳%朱德亮%马晓翠%吕有明
曹培江%賴國霞%柳文軍%賈芳%硃德亮%馬曉翠%呂有明
조배강%뢰국하%류문군%가방%주덕량%마효취%려유명
ZnO薄膜%脉冲激光沉积%附着力
ZnO薄膜%脈遲激光沉積%附著力
ZnO박막%맥충격광침적%부착력
使用脉冲激光沉积( PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力.结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的ZnO六方相,可见光范围内光学透过率均大于85％；PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31.31mN和16.97mN,PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40.55mN.
使用脈遲激光沉積( PLD)方法在柔性襯底PMMA和PET上製備瞭具有高c軸擇優取嚮的AZO(ZnO∶Al)薄膜.通過X射線衍射(XRD)、紫外可見分光光度計(UV-Vis)和納米劃痕儀,研究瞭在不同襯底下生長的薄膜樣品的晶體結構、光學性能和附著力.結果錶明,兩種柔性襯底上生長的AZO薄膜都是單一的ZnO六方相,可見光範圍內光學透過率均大于85％；PMMA、PET襯底上AZO薄膜的臨界載荷數值分彆為31.31mN和16.97mN,PET襯底上ITO薄膜的臨界載荷數值為40.55mN.
사용맥충격광침적( PLD)방법재유성츤저PMMA화PET상제비료구유고c축택우취향적AZO(ZnO∶Al)박막.통과X사선연사(XRD)、자외가견분광광도계(UV-Vis)화납미화흔의,연구료재불동츤저하생장적박막양품적정체결구、광학성능화부착력.결과표명,량충유성츤저상생장적AZO박막도시단일적ZnO륙방상,가견광범위내광학투과솔균대우85％；PMMA、PET츤저상AZO박막적림계재하수치분별위31.31mN화16.97mN,PET츤저상ITO박막적림계재하수치위40.55mN.
