微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2001年
2期
57-60
,共4页
微机电系统%高深宽比%SU-8系列光刻胶%UV-LIGA
微機電繫統%高深寬比%SU-8繫列光刻膠%UV-LIGA
미궤전계통%고심관비%SU-8계렬광각효%UV-LIGA
SU-8系列负性光刻胶是一种新品光刻胶,它具有良好的光敏性和高深宽比,适合于微机电系统,UV-LIGA和其它厚膜、超厚膜应用[1,2].介绍了利用SU-8 5光刻胶,采用UV曝光制备LIGA掩模板所涉及的SU-8 5工艺研究结果.
SU-8繫列負性光刻膠是一種新品光刻膠,它具有良好的光敏性和高深寬比,適閤于微機電繫統,UV-LIGA和其它厚膜、超厚膜應用[1,2].介紹瞭利用SU-8 5光刻膠,採用UV曝光製備LIGA掩模闆所涉及的SU-8 5工藝研究結果.
SU-8계렬부성광각효시일충신품광각효,타구유량호적광민성화고심관비,괄합우미궤전계통,UV-LIGA화기타후막、초후막응용[1,2].개소료이용SU-8 5광각효,채용UV폭광제비LIGA엄모판소섭급적SU-8 5공예연구결과.
