压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2004年
1期
31-34
,共4页
霍明学%刘晓为%张铁良%兰慕杰%王东旺
霍明學%劉曉為%張鐵良%蘭慕傑%王東旺
곽명학%류효위%장철량%란모걸%왕동왕
多晶硅薄膜%微声传感器%有限元
多晶硅薄膜%微聲傳感器%有限元
다정규박막%미성전감기%유한원
设计了一种以多晶硅薄膜作为振动膜片的电容式硅微声传感器.通过有限元法(FEM)对传感器建模,并对其进行静力、模态和谐响应分析.模拟分析结果表明此传感器机械灵敏度可达1.81×10-7m/Pa,其频带宽度接近10 kHz.
設計瞭一種以多晶硅薄膜作為振動膜片的電容式硅微聲傳感器.通過有限元法(FEM)對傳感器建模,併對其進行靜力、模態和諧響應分析.模擬分析結果錶明此傳感器機械靈敏度可達1.81×10-7m/Pa,其頻帶寬度接近10 kHz.
설계료일충이다정규박막작위진동막편적전용식규미성전감기.통과유한원법(FEM)대전감기건모,병대기진행정력、모태화해향응분석.모의분석결과표명차전감기궤계령민도가체1.81×10-7m/Pa,기빈대관도접근10 kHz.
