硅电容压力传感器敏感器件的研究
규전용압력전감기민감기건적연구
Research on silicon differential capacitive pressure sensor
  • 万方数据
    微纳电子技术 미납전자기술
    MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
    2004年 11期 39-42 ,共4页

    张治国%褚斌%李颖%孙海玮%祝永峰%林洪%刘沁%匡石%陈信琦

    장치국%저빈%리영%손해위%축영봉%림홍%류심%광석%진신기

    硅电容%压力传感器%差动电容 硅電容%壓力傳感器%差動電容
    규전용%압력전감기%차동전용
    研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产.结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目前通用压力传感器的升级产品.
    연제적규전용압력전감기심체채용미궤계가공기술,가공정도고,역우비양화생산.결구상채용대칭적차동전용형식,병장기봉장재전용기좌중,괄용우중、미압력적고정도측량,가용우목전통용압력전감기적승급산품.
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