真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
z1期
105-109
,共5页
王明霞%张晶晶%杨瑾%刘谦祥%李德军
王明霞%張晶晶%楊瑾%劉謙祥%李德軍
왕명하%장정정%양근%류겸상%리덕군
射频磁控溅射%ZrN/WN多层膜%Ar/N2气体比例
射頻磁控濺射%ZrN/WN多層膜%Ar/N2氣體比例
사빈자공천사%ZrN/WN다층막%Ar/N2기체비례
选择Zr和W的氮化物作为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统制备ZrN,WN及一系列的ZrN/WN多层薄膜.通过X射线衍射仪,俄歇电子能谱和纳米力学测试系统分析了该体系合成中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明:多层膜的纳米硬度值普遍高于两种个体材料混合相的硬度值;当流量比FAr:FN2=5时W2N的(111)峰加强并出现(200)峰,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力、弹性模量以及膜基结合性能均达到最佳效果.
選擇Zr和W的氮化物作為箇體層材料,利用FJL560CI2型超高真空射頻磁控與離子束聯閤濺射繫統製備ZrN,WN及一繫列的ZrN/WN多層薄膜.通過X射線衍射儀,俄歇電子能譜和納米力學測試繫統分析瞭該體繫閤成中Ar/N2氣體比例對多層膜結構與機械性能的影響.結果錶明:多層膜的納米硬度值普遍高于兩種箇體材料混閤相的硬度值;噹流量比FAr:FN2=5時W2N的(111)峰加彊併齣現(200)峰,結晶齣現多元化,多層膜體繫的硬度、應力、彈性模量以及膜基結閤性能均達到最佳效果.
선택Zr화W적담화물작위개체층재료,이용FJL560CI2형초고진공사빈자공여리자속연합천사계통제비ZrN,WN급일계렬적ZrN/WN다층박막.통과X사선연사의,아헐전자능보화납미역학측시계통분석료해체계합성중Ar/N2기체비례대다층막결구여궤계성능적영향.결과표명:다층막적납미경도치보편고우량충개체재료혼합상적경도치;당류량비FAr:FN2=5시W2N적(111)봉가강병출현(200)봉,결정출현다원화,다층막체계적경도、응력、탄성모량이급막기결합성능균체도최가효과.
