光电子技术
光電子技術
광전자기술
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
2期
73-77
,共5页
李慧蕊%申屠军%戴丽英%马建一
李慧蕊%申屠軍%戴麗英%馬建一
리혜예%신도군%대려영%마건일
超高真空%激活%负电子亲和势%GaN光电阴极%紫外敏感%光电探测
超高真空%激活%負電子親和勢%GaN光電陰極%紫外敏感%光電探測
초고진공%격활%부전자친화세%GaN광전음겁%자외민감%광전탐측
负电子亲和势GaN光电阴极在紫外探测技术领域具有诱人的应用前景.本文在介绍和分析负电子亲和势GaN光电阴极的特点、工作原理及其能带结构的基础上,设计了GaN外延材料的结构和阴极制作工艺.指出负电子亲和势GaN光电阴极制备的关键在于材料的生长、与输入光窗的融焊、衬底的减薄及彻底的去气处理和超高真空状态下的铯、氧激活.
負電子親和勢GaN光電陰極在紫外探測技術領域具有誘人的應用前景.本文在介紹和分析負電子親和勢GaN光電陰極的特點、工作原理及其能帶結構的基礎上,設計瞭GaN外延材料的結構和陰極製作工藝.指齣負電子親和勢GaN光電陰極製備的關鍵在于材料的生長、與輸入光窗的融銲、襯底的減薄及徹底的去氣處理和超高真空狀態下的銫、氧激活.
부전자친화세GaN광전음겁재자외탐측기술영역구유유인적응용전경.본문재개소화분석부전자친화세GaN광전음겁적특점、공작원리급기능대결구적기출상,설계료GaN외연재료적결구화음겁제작공예.지출부전자친화세GaN광전음겁제비적관건재우재료적생장、여수입광창적융한、츤저적감박급철저적거기처리화초고진공상태하적색、양격활.
