汕头大学学报（自然科学版）
汕頭大學學報（自然科學版）
산두대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANTOU UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
2期
47-52
,共6页
张盛华%卢铁城%敦少博%胡强%赵建君%何捷
張盛華%盧鐵城%敦少博%鬍彊%趙建君%何捷
장성화%로철성%돈소박%호강%조건군%하첩
锗纳米晶%中子嬗变掺杂%电输运
鍺納米晶%中子嬗變摻雜%電輸運
타납미정%중자선변참잡%전수운
利用离子注入然后退火的方法制备镶嵌有锗纳米晶的二氧化硅复合膜,再利用中子嬗变方法,对镶嵌有锗纳米晶的二氧化硅复合膜进行精确均匀掺杂,用激光拉曼散射测量表征锗纳米晶的存在,测量嬗变掺杂前后样品的,I-U曲线和InR-1/T曲线.结果表明:掺杂样品未退火时电阻极大,退火后电阻明显减小,但比未掺杂时大;其它条件相同时,锗的注入量越大,纳米晶层的电阻越小;在掺杂样品的低温,I-U曲线中发现台阶.
利用離子註入然後退火的方法製備鑲嵌有鍺納米晶的二氧化硅複閤膜,再利用中子嬗變方法,對鑲嵌有鍺納米晶的二氧化硅複閤膜進行精確均勻摻雜,用激光拉曼散射測量錶徵鍺納米晶的存在,測量嬗變摻雜前後樣品的,I-U麯線和InR-1/T麯線.結果錶明:摻雜樣品未退火時電阻極大,退火後電阻明顯減小,但比未摻雜時大;其它條件相同時,鍺的註入量越大,納米晶層的電阻越小;在摻雜樣品的低溫,I-U麯線中髮現檯階.
이용리자주입연후퇴화적방법제비양감유타납미정적이양화규복합막,재이용중자선변방법,대양감유타납미정적이양화규복합막진행정학균균참잡,용격광랍만산사측량표정타납미정적존재,측량선변참잡전후양품적,I-U곡선화InR-1/T곡선.결과표명:참잡양품미퇴화시전조겁대,퇴화후전조명현감소,단비미참잡시대;기타조건상동시,타적주입량월대,납미정층적전조월소;재참잡양품적저온,I-U곡선중발현태계.
