上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
2007年
10期
1565-1568
,共4页
微细电火花加工%群电极%超声复合%反拷
微細電火花加工%群電極%超聲複閤%反拷
미세전화화가공%군전겁%초성복합%반고
针对LIGA制作微细群电极工艺复杂、价格昂贵的缺点,提出微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术.根据微细电火花放电的机理,利用微细群孔放电反拷来制作微细群电极.基于微细群电极反拷电加工时圆柱电极不能旋转的特点,在加工中复合了超声振动,并在理论分析的基础上,系统地研究超声振动对微细群电极反拷电加工的影响.得到一系列3×3的微细群电极和由这些群电极制作的微细群孔,单电极直径小于30 μm,长径比大于10,表面光洁,有很好的同轴度.
針對LIGA製作微細群電極工藝複雜、價格昂貴的缺點,提齣微細群電極的電火花超聲複閤反拷加工技術.根據微細電火花放電的機理,利用微細群孔放電反拷來製作微細群電極.基于微細群電極反拷電加工時圓柱電極不能鏇轉的特點,在加工中複閤瞭超聲振動,併在理論分析的基礎上,繫統地研究超聲振動對微細群電極反拷電加工的影響.得到一繫列3×3的微細群電極和由這些群電極製作的微細群孔,單電極直徑小于30 μm,長徑比大于10,錶麵光潔,有很好的同軸度.
침대LIGA제작미세군전겁공예복잡、개격앙귀적결점,제출미세군전겁적전화화초성복합반고가공기술.근거미세전화화방전적궤리,이용미세군공방전반고래제작미세군전겁.기우미세군전겁반고전가공시원주전겁불능선전적특점,재가공중복합료초성진동,병재이론분석적기출상,계통지연구초성진동대미세군전겁반고전가공적영향.득도일계렬3×3적미세군전겁화유저사군전겁제작적미세군공,단전겁직경소우30 μm,장경비대우10,표면광길,유흔호적동축도.
