纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
1期
59-63
,共5页
冯艳%许晓慧%杨景超%吴亚雷%褚家如
馮豔%許曉慧%楊景超%吳亞雷%褚傢如
풍염%허효혜%양경초%오아뢰%저가여
PZT厚膜%气雾化湿法减薄%平均刻蚀速率
PZT厚膜%氣霧化濕法減薄%平均刻蝕速率
PZT후막%기무화습법감박%평균각식속솔
锆钛酸铅(PZT)厚膜的制备技术是制作基于PZT厚膜的微传感器和微驱动器的关键技术之一.传统的制备方法难以兼顾厚膜制备中对厚度、性能、工艺复杂度以及成本等方面的要求,因此,提出了一种新的利用气雾化湿法减薄体材料制备PZT厚膜的技术.该技术结合传统的PZT湿法化学刻蚀方法和刻蚀雾滴的物理轰击效应,在反应中实时去除化学反应残留物,在减薄前后样品厚度均匀性几乎不变的情况下,平均刻蚀速率可达3.3μm/min,且工艺过程简单,成本低廉.实验结果表明,用该技术制备的PZT厚膜可满足微机电系统(MEMS)领域中微传感器和微致动器对于厚膜具备较高灵敏度和较大驱动能力的性能要求.
鋯鈦痠鉛(PZT)厚膜的製備技術是製作基于PZT厚膜的微傳感器和微驅動器的關鍵技術之一.傳統的製備方法難以兼顧厚膜製備中對厚度、性能、工藝複雜度以及成本等方麵的要求,因此,提齣瞭一種新的利用氣霧化濕法減薄體材料製備PZT厚膜的技術.該技術結閤傳統的PZT濕法化學刻蝕方法和刻蝕霧滴的物理轟擊效應,在反應中實時去除化學反應殘留物,在減薄前後樣品厚度均勻性幾乎不變的情況下,平均刻蝕速率可達3.3μm/min,且工藝過程簡單,成本低廉.實驗結果錶明,用該技術製備的PZT厚膜可滿足微機電繫統(MEMS)領域中微傳感器和微緻動器對于厚膜具備較高靈敏度和較大驅動能力的性能要求.
고태산연(PZT)후막적제비기술시제작기우PZT후막적미전감기화미구동기적관건기술지일.전통적제비방법난이겸고후막제비중대후도、성능、공예복잡도이급성본등방면적요구,인차,제출료일충신적이용기무화습법감박체재료제비PZT후막적기술.해기술결합전통적PZT습법화학각식방법화각식무적적물리굉격효응,재반응중실시거제화학반응잔류물,재감박전후양품후도균균성궤호불변적정황하,평균각식속솔가체3.3μm/min,차공예과정간단,성본저렴.실험결과표명,용해기술제비적PZT후막가만족미궤전계통(MEMS)영역중미전감기화미치동기대우후막구비교고령민도화교대구동능력적성능요구.
