光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
5期
1166-1174
,共9页
吕浩杰%胡国清%邹卫%吴灿云%陈羽锋
呂浩傑%鬍國清%鄒衛%吳燦雲%陳羽鋒
려호걸%호국청%추위%오찬운%진우봉
双凹槽接触式电容压力传感器(DTMCPS)%热分析%有限元法
雙凹槽接觸式電容壓力傳感器(DTMCPS)%熱分析%有限元法
쌍요조접촉식전용압력전감기(DTMCPS)%열분석%유한원법
为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能,设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析.推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述;在整个分析过程中,使用ANSYS软件并结合有限元方法对全尺寸传感器的热效应进行模拟.结果表明,在接触工作状态双凹槽接触式电容压力传感器的温度对输入(压力)-输出(电容)特性的影响是线性的,且线性范围内初始压力随温度的升高而降低;当温度载荷为550 K时,双凹槽结构的灵敏度为1.21×10-6 pF/Pa,比传统单凹槽的0.8×10-6 pF/Pa高出50%,表明该压力传感器有着非常优异的高温特性.
為瞭進一步提高接觸式電容壓力傳感器的性能,設計瞭一種高性能雙凹槽結構的接觸式電容壓力傳感器,併對該傳感器在高溫環境中的總體性能進行瞭分析.推導瞭熱傳導和熱彈性理論,併對影響傳感器熱分析的各箇因素與溫度的依賴關繫進行瞭描述;在整箇分析過程中,使用ANSYS軟件併結閤有限元方法對全呎吋傳感器的熱效應進行模擬.結果錶明,在接觸工作狀態雙凹槽接觸式電容壓力傳感器的溫度對輸入(壓力)-輸齣(電容)特性的影響是線性的,且線性範圍內初始壓力隨溫度的升高而降低;噹溫度載荷為550 K時,雙凹槽結構的靈敏度為1.21×10-6 pF/Pa,比傳統單凹槽的0.8×10-6 pF/Pa高齣50%,錶明該壓力傳感器有著非常優異的高溫特性.
위료진일보제고접촉식전용압력전감기적성능,설계료일충고성능쌍요조결구적접촉식전용압력전감기,병대해전감기재고온배경중적총체성능진행료분석.추도료열전도화열탄성이론,병대영향전감기열분석적각개인소여온도적의뢰관계진행료묘술;재정개분석과정중,사용ANSYS연건병결합유한원방법대전척촌전감기적열효응진행모의.결과표명,재접촉공작상태쌍요조접촉식전용압력전감기적온도대수입(압력)-수출(전용)특성적영향시선성적,차선성범위내초시압력수온도적승고이강저;당온도재하위550 K시,쌍요조결구적령민도위1.21×10-6 pF/Pa,비전통단요조적0.8×10-6 pF/Pa고출50%,표명해압력전감기유착비상우이적고온특성.
