功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
z2期
229-231
,共3页
樊志琴%蔡根旺%李瑞%黄浩%张君德%王建星%康广生
樊誌琴%蔡根旺%李瑞%黃浩%張君德%王建星%康廣生
번지금%채근왕%리서%황호%장군덕%왕건성%강엄생
正交设计方法%碳纳米管%MPCVD%场发射%拉曼光谱
正交設計方法%碳納米管%MPCVD%場髮射%拉曼光譜
정교설계방법%탄납미관%MPCVD%장발사%랍만광보
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,在不锈钢衬底上直接沉积碳纳米管膜.通过正交设计方法综合研究了反应温度、气压、沉积时间、甲烷流量对碳纳米管膜场发射性能的影响.结果表明,不同条件下制备的碳纳米管膜的场发射性能有很大差异,其中起主要作用的是反应温度和气压.保持氢气的流量(100mL/min)不变,温度为700～800℃时,反应室压强为6.5kPa时,场发射性能最好,开启场强仅为0.8V/μm,发射点分布密集、均匀.
利用微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)方法,在不鏽鋼襯底上直接沉積碳納米管膜.通過正交設計方法綜閤研究瞭反應溫度、氣壓、沉積時間、甲烷流量對碳納米管膜場髮射性能的影響.結果錶明,不同條件下製備的碳納米管膜的場髮射性能有很大差異,其中起主要作用的是反應溫度和氣壓.保持氫氣的流量(100mL/min)不變,溫度為700～800℃時,反應室壓彊為6.5kPa時,場髮射性能最好,開啟場彊僅為0.8V/μm,髮射點分佈密集、均勻.
이용미파등리자체화학기상침적(MPCVD)방법,재불수강츤저상직접침적탄납미관막.통과정교설계방법종합연구료반응온도、기압、침적시간、갑완류량대탄납미관막장발사성능적영향.결과표명,불동조건하제비적탄납미관막적장발사성능유흔대차이,기중기주요작용적시반응온도화기압.보지경기적류량(100mL/min)불변,온도위700～800℃시,반응실압강위6.5kPa시,장발사성능최호,개계장강부위0.8V/μm,발사점분포밀집、균균.
