液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2011年
2期
158-160
,共3页
王新%刘楠%向嵘%李野%端木庆铎%田景全
王新%劉楠%嚮嶸%李野%耑木慶鐸%田景全
왕신%류남%향영%리야%단목경탁%전경전
射频磁控溅射%氧化镍%结构%光学%电学
射頻磁控濺射%氧化鎳%結構%光學%電學
사빈자공천사%양화얼%결구%광학%전학
在室温条件下,采用射频磁控溅射的方法在石英衬底上制备了NiO薄膜,深入研究了不同溅射功率对NiO的结构、光学和电学特性的影响.随着溅射功率的升高,NiO薄膜逐渐由非晶态薄膜转变成具有(111)择优取向的晶态薄膜,同时发现NiO薄膜在可见光区透过率较大,而在紫外光区透过率减小;随着溅射功率的升高,薄膜在可见光区域和紫外区域的光学透过率均明显减小,同时禁带宽度也减小,但导电性增强.
在室溫條件下,採用射頻磁控濺射的方法在石英襯底上製備瞭NiO薄膜,深入研究瞭不同濺射功率對NiO的結構、光學和電學特性的影響.隨著濺射功率的升高,NiO薄膜逐漸由非晶態薄膜轉變成具有(111)擇優取嚮的晶態薄膜,同時髮現NiO薄膜在可見光區透過率較大,而在紫外光區透過率減小;隨著濺射功率的升高,薄膜在可見光區域和紫外區域的光學透過率均明顯減小,同時禁帶寬度也減小,但導電性增彊.
재실온조건하,채용사빈자공천사적방법재석영츤저상제비료NiO박막,심입연구료불동천사공솔대NiO적결구、광학화전학특성적영향.수착천사공솔적승고,NiO박막축점유비정태박막전변성구유(111)택우취향적정태박막,동시발현NiO박막재가견광구투과솔교대,이재자외광구투과솔감소;수착천사공솔적승고,박막재가견광구역화자외구역적광학투과솔균명현감소,동시금대관도야감소,단도전성증강.
