高阻隔碳氢膜的制备及性能研究
고조격탄경막적제비급성능연구
Study on the preparation of high barrier hydrogenated carbon film and its properties
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2005年 2期 818-823 ,共6页

    陈光良%葛袁静%张越飞%张广秋%张谷令%王久丽%刘元福%顾伟超%冯文然%刘赤子%杨思泽

    진광량%갈원정%장월비%장엄추%장곡령%왕구려%류원복%고위초%풍문연%류적자%양사택

    碳氢膜%射频等离子体化学气象沉积法%聚对苯二甲酸乙二醇酯%阻隔性能 碳氫膜%射頻等離子體化學氣象沉積法%聚對苯二甲痠乙二醇酯%阻隔性能
    탄경막%사빈등리자체화학기상침적법%취대분이갑산을이순지%조격성능
    利用射频等离子体化学气象沉积法(r.f.PECVD),在12μm厚的聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)上制备了碳氢膜. 用原子力显微镜(AFM),x射线光电子能谱(XPS),激光拉曼光谱,傅里叶红外光谱等仪器,对碳氢膜的表面形貌和内部结构特性进行了较详细研究. 镀碳氢膜PET的阻隔性能在标准透水蒸气测试仪上进行检测. 实验结果证明:沉积工艺参数对碳氢膜的生长速率及结构性能有重要影响;在PET上沉积的是纳米碳氢膜,该膜主要由sp2和sp3杂化的碳氢化合物组成;当PET上碳氢膜厚度为900nm时,阻水蒸气性能可提高7倍.
    이용사빈등리자체화학기상침적법(r.f.PECVD),재12μm후적취대분이갑산을이순지 (PET)상제비료탄경막. 용원자력현미경(AFM),x사선광전자능보(XPS),격광랍만광보,부리협홍외광보등의기,대탄경막적표면형모화내부결구특성진행료교상세연구. 도탄경막PET적조격성능재표준투수증기측시의상진행검측. 실험결과증명:침적공예삼수대탄경막적생장속솔급결구성능유중요영향;재PET상침적적시납미탄경막,해막주요유sp2화sp3잡화적탄경화합물조성;당PET상탄경막후도위900nm시,조수증기성능가제고7배.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문