电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2005年
3期
54-58
,共5页
李厚刚%徐友龙%王风雨%王杰
李厚剛%徐友龍%王風雨%王傑
리후강%서우룡%왕풍우%왕걸
无机非金属材料%钛酸锶钡%溶胶–凝胶%综述%晶化行为%中间相%钙钛矿相
無機非金屬材料%鈦痠鍶鋇%溶膠–凝膠%綜述%晶化行為%中間相%鈣鈦礦相
무궤비금속재료%태산송패%용효–응효%종술%정화행위%중간상%개태광상
重点综述了前驱体、基片和热处理工艺等因素对sol-gel法制备的钛酸锶钡BST(Ba1-xSrxTiO3)铁电薄膜的晶化行为及介电性能的影响,并从动力学和热力学角度进行了解释,进而提出一些实用措施:选用低温分解的羧酸盐和加有螯合剂的钛醇盐作原料、采用与BST晶格匹配度好的基片、提高升温速率、加入晶种或理想的添加剂等,来消除或减弱中间相的影响以实现低温下高介电性能的BST薄膜的sol-gel制备;最后,提出了研究中需进一步解决的课题.
重點綜述瞭前驅體、基片和熱處理工藝等因素對sol-gel法製備的鈦痠鍶鋇BST(Ba1-xSrxTiO3)鐵電薄膜的晶化行為及介電性能的影響,併從動力學和熱力學角度進行瞭解釋,進而提齣一些實用措施:選用低溫分解的羧痠鹽和加有螯閤劑的鈦醇鹽作原料、採用與BST晶格匹配度好的基片、提高升溫速率、加入晶種或理想的添加劑等,來消除或減弱中間相的影響以實現低溫下高介電性能的BST薄膜的sol-gel製備;最後,提齣瞭研究中需進一步解決的課題.
중점종술료전구체、기편화열처리공예등인소대sol-gel법제비적태산송패BST(Ba1-xSrxTiO3)철전박막적정화행위급개전성능적영향,병종동역학화열역학각도진행료해석,진이제출일사실용조시:선용저온분해적최산염화가유오합제적태순염작원료、채용여BST정격필배도호적기편、제고승온속솔、가입정충혹이상적첨가제등,래소제혹감약중간상적영향이실현저온하고개전성능적BST박막적sol-gel제비;최후,제출료연구중수진일보해결적과제.
