纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2007年
1期
67-71
,共5页
熊毅%张向军%董云开%王馨%温诗铸
熊毅%張嚮軍%董雲開%王馨%溫詩鑄
웅의%장향군%동운개%왕형%온시주
黏着%黏滑%环境湿度%湿法刻蚀
黏著%黏滑%環境濕度%濕法刻蝕
점착%점활%배경습도%습법각식
首先采用湿法刻蚀处理硅110面,得到按一定规律排列的圆形、三角形凹坑修饰硅表面;然后在自行开发的微摩擦黏着实验机上,对光滑硅表面和凹坑修饰硅表面在湿度环境下的黏着和摩擦性能进行了测试,发现经过规则形貌修饰的硅表面可以明显地降低由于毛细作用引起的黏着.摩擦力测试中光滑硅表面在湿度超过70%后有明显的黏滑现象,而经过修饰的硅表面对黏滑有抑制作用.在此基础上,从硅表面液桥形成及断裂的角度探讨了环境湿度对黏着与黏滑的作用机理,建立了球面接触模式下不同湿度下的黏着力(pull-off force)与黏滑峰值力的计算模型与公式.并结合实验结果进一步改善了计算模型,可为控制硅表面的毛细黏着与黏滑提供模型依据.
首先採用濕法刻蝕處理硅110麵,得到按一定規律排列的圓形、三角形凹坑脩飾硅錶麵;然後在自行開髮的微摩抆黏著實驗機上,對光滑硅錶麵和凹坑脩飾硅錶麵在濕度環境下的黏著和摩抆性能進行瞭測試,髮現經過規則形貌脩飾的硅錶麵可以明顯地降低由于毛細作用引起的黏著.摩抆力測試中光滑硅錶麵在濕度超過70%後有明顯的黏滑現象,而經過脩飾的硅錶麵對黏滑有抑製作用.在此基礎上,從硅錶麵液橋形成及斷裂的角度探討瞭環境濕度對黏著與黏滑的作用機理,建立瞭毬麵接觸模式下不同濕度下的黏著力(pull-off force)與黏滑峰值力的計算模型與公式.併結閤實驗結果進一步改善瞭計算模型,可為控製硅錶麵的毛細黏著與黏滑提供模型依據.
수선채용습법각식처리규110면,득도안일정규률배렬적원형、삼각형요갱수식규표면;연후재자행개발적미마찰점착실험궤상,대광활규표면화요갱수식규표면재습도배경하적점착화마찰성능진행료측시,발현경과규칙형모수식적규표면가이명현지강저유우모세작용인기적점착.마찰력측시중광활규표면재습도초과70%후유명현적점활현상,이경과수식적규표면대점활유억제작용.재차기출상,종규표면액교형성급단렬적각도탐토료배경습도대점착여점활적작용궤리,건립료구면접촉모식하불동습도하적점착력(pull-off force)여점활봉치력적계산모형여공식.병결합실험결과진일보개선료계산모형,가위공제규표면적모세점착여점활제공모형의거.
