仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2008年
6期
1339-1344
,共6页
衍射光栅%微机电系统%微光机电系统%微型可编程光栅
衍射光柵%微機電繫統%微光機電繫統%微型可編程光柵
연사광책%미궤전계통%미광궤전계통%미형가편정광책
近十几年来,微机电系统--MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益.光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的.本文将在前文的基础上,重点介绍国际上其他的科研机构在MEMS微型可编程光栅相关方面的研究情况,对于每一种光栅结构的特点、制作工艺及其面向的应用领域进行了详细说明,最后讨论了MEMS微型可编程光栅的发展趋势.
近十幾年來,微機電繫統--MEMS技術作為一種使能技術,在各箇領域(如機械、生物、光學、射頻、能源等)得到瞭迅速髮展,併實現瞭一定的產業化應用,取得瞭良好的經濟效益.光學MEMS使光學元器件具備瞭體積小、重量輕、性能穩定、成本及功耗低等顯著優點,實現瞭器件中關鍵結構的動態可控性,這是傳統技術所無法比擬的.本文將在前文的基礎上,重點介紹國際上其他的科研機構在MEMS微型可編程光柵相關方麵的研究情況,對于每一種光柵結構的特點、製作工藝及其麵嚮的應用領域進行瞭詳細說明,最後討論瞭MEMS微型可編程光柵的髮展趨勢.
근십궤년래,미궤전계통--MEMS기술작위일충사능기술,재각개영역(여궤계、생물、광학、사빈、능원등)득도료신속발전,병실현료일정적산업화응용,취득료량호적경제효익.광학MEMS사광학원기건구비료체적소、중량경、성능은정、성본급공모저등현저우점,실현료기건중관건결구적동태가공성,저시전통기술소무법비의적.본문장재전문적기출상,중점개소국제상기타적과연궤구재MEMS미형가편정광책상관방면적연구정황,대우매일충광책결구적특점、제작공예급기면향적응용영역진행료상세설명,최후토론료MEMS미형가편정광책적발전추세.
