光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
3期
573-579
,共7页
对准系统%调焦机构%机械摆动%对准误差%补偿%亚像素模板匹配
對準繫統%調焦機構%機械襬動%對準誤差%補償%亞像素模闆匹配
대준계통%조초궤구%궤계파동%대준오차%보상%아상소모판필배
为了消减压印对准系统焦平面调整过程中由于机构机械不稳定性产生的对准误差,提出了拟合调整架摆动轨迹来进行软件补偿的方法.通过亚像素模板匹配算法对调焦过程中标记图像的坐标进行定位运算并分析了算法的有效性,结果说明该算法的理论误差<0.1 μm.采用该算法计算随调整架摆动的标记坐标,对调整架的摆动轨迹进行了实验标定.分别考察调整架上升和下降时的摆动特性,结果显示,实验具有较好的重复性.以此为基础,建立了调整架的摆动轨迹模型及误差补偿方法,并对模型的预测补偿精度进行了实验研究.结果表明,通过预测调整架摆动轨迹并进行补偿,调焦系统机械不稳定性误差从2.84 μm减小到1.29 μm,可以满足2 μm的总体对准精度要求.
為瞭消減壓印對準繫統焦平麵調整過程中由于機構機械不穩定性產生的對準誤差,提齣瞭擬閤調整架襬動軌跡來進行軟件補償的方法.通過亞像素模闆匹配算法對調焦過程中標記圖像的坐標進行定位運算併分析瞭算法的有效性,結果說明該算法的理論誤差<0.1 μm.採用該算法計算隨調整架襬動的標記坐標,對調整架的襬動軌跡進行瞭實驗標定.分彆攷察調整架上升和下降時的襬動特性,結果顯示,實驗具有較好的重複性.以此為基礎,建立瞭調整架的襬動軌跡模型及誤差補償方法,併對模型的預測補償精度進行瞭實驗研究.結果錶明,通過預測調整架襬動軌跡併進行補償,調焦繫統機械不穩定性誤差從2.84 μm減小到1.29 μm,可以滿足2 μm的總體對準精度要求.
위료소감압인대준계통초평면조정과정중유우궤구궤계불은정성산생적대준오차,제출료의합조정가파동궤적래진행연건보상적방법.통과아상소모판필배산법대조초과정중표기도상적좌표진행정위운산병분석료산법적유효성,결과설명해산법적이론오차<0.1 μm.채용해산법계산수조정가파동적표기좌표,대조정가적파동궤적진행료실험표정.분별고찰조정가상승화하강시적파동특성,결과현시,실험구유교호적중복성.이차위기출,건립료조정가적파동궤적모형급오차보상방법,병대모형적예측보상정도진행료실험연구.결과표명,통과예측조정가파동궤적병진행보상,조초계통궤계불은정성오차종2.84 μm감소도1.29 μm,가이만족2 μm적총체대준정도요구.
