真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2005年
1期
46-49
,共4页
程春晓%姚宁%马丙现%杨仕娥%赵永梅%张兵临
程春曉%姚寧%馬丙現%楊仕娥%趙永梅%張兵臨
정춘효%요저%마병현%양사아%조영매%장병림
金刚石薄膜%化学气相沉积%铜基底%过渡层
金剛石薄膜%化學氣相沉積%銅基底%過渡層
금강석박막%화학기상침적%동기저%과도층
采用钛-铝-钼过渡层研究了铜基片上金刚石薄膜的化学气相沉积.用SEM和Raman谱研究了薄膜的形貌和质量.用XRD分析了膜基间形成的化合物的成分,并进一步分析了铝的存在对膜基结合力的影响.实验证明,钛-铝-钼过渡层的存在显著提高了金刚石薄膜与铜基底的结合力.
採用鈦-鋁-鉬過渡層研究瞭銅基片上金剛石薄膜的化學氣相沉積.用SEM和Raman譜研究瞭薄膜的形貌和質量.用XRD分析瞭膜基間形成的化閤物的成分,併進一步分析瞭鋁的存在對膜基結閤力的影響.實驗證明,鈦-鋁-鉬過渡層的存在顯著提高瞭金剛石薄膜與銅基底的結閤力.
채용태-려-목과도층연구료동기편상금강석박막적화학기상침적.용SEM화Raman보연구료박막적형모화질량.용XRD분석료막기간형성적화합물적성분,병진일보분석료려적존재대막기결합력적영향.실험증명,태-려-목과도층적존재현저제고료금강석박막여동기저적결합력.
