中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2007年
6期
841-845
,共5页
岳兆阳%林德教%宋南海%孟永钢%殷纯永
嶽兆暘%林德教%宋南海%孟永鋼%慇純永
악조양%림덕교%송남해%맹영강%은순영
测量%外差干涉%磁头飞行高度调制%共光路%相位测量%误差补偿
測量%外差榦涉%磁頭飛行高度調製%共光路%相位測量%誤差補償
측량%외차간섭%자두비행고도조제%공광로%상위측량%오차보상
在线检测硬盘磁头飞行高度(FH)是高密度磁存储技术商品化的重要环节.提出了一种对称共路双频外差干涉测量硬盘磁头飞行高度的方法,用于在线检测磁头飞行高度瞬态调制变化.采用横向塞曼激光器作为外差光源,结合高速相位测量技术,可实现对磁头飞行高度高分辨率(0.1 nm),高采样频率(100 kHz)直接在线溯源测量.通过对称布局的两路差动干涉仪结构,系统能自适应补偿环境振动等扰动引入的随机误差以及盘片复杂运动引入的阿贝误差,还可兼容透射式玻璃盘片模拟条件下的硬盘磁头飞行高度的测量.结果表明,当盘片的偏摆在1.2 μm时,系统可清晰描述小于10 nm的飞行高度调制现象.
在線檢測硬盤磁頭飛行高度(FH)是高密度磁存儲技術商品化的重要環節.提齣瞭一種對稱共路雙頻外差榦涉測量硬盤磁頭飛行高度的方法,用于在線檢測磁頭飛行高度瞬態調製變化.採用橫嚮塞曼激光器作為外差光源,結閤高速相位測量技術,可實現對磁頭飛行高度高分辨率(0.1 nm),高採樣頻率(100 kHz)直接在線溯源測量.通過對稱佈跼的兩路差動榦涉儀結構,繫統能自適應補償環境振動等擾動引入的隨機誤差以及盤片複雜運動引入的阿貝誤差,還可兼容透射式玻璃盤片模擬條件下的硬盤磁頭飛行高度的測量.結果錶明,噹盤片的偏襬在1.2 μm時,繫統可清晰描述小于10 nm的飛行高度調製現象.
재선검측경반자두비행고도(FH)시고밀도자존저기술상품화적중요배절.제출료일충대칭공로쌍빈외차간섭측량경반자두비행고도적방법,용우재선검측자두비행고도순태조제변화.채용횡향새만격광기작위외차광원,결합고속상위측량기술,가실현대자두비행고도고분변솔(0.1 nm),고채양빈솔(100 kHz)직접재선소원측량.통과대칭포국적량로차동간섭의결구,계통능자괄응보상배경진동등우동인입적수궤오차이급반편복잡운동인입적아패오차,환가겸용투사식파리반편모의조건하적경반자두비행고도적측량.결과표명,당반편적편파재1.2 μm시,계통가청석묘술소우10 nm적비행고도조제현상.
