半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2008年
3期
574-577
,共4页
李昕%贺永宁%刘卫华%朱长纯
李昕%賀永寧%劉衛華%硃長純
리흔%하영저%류위화%주장순
碳纳米管%场致发射显示器%氧化锌%稳定性
碳納米管%場緻髮射顯示器%氧化鋅%穩定性
탄납미관%장치발사현시기%양화자%은정성
针对碳纳米管(CNT)场发射阴极薄膜中,CNT个体差异及其与衬底的不良接触对发光均匀性的影响,引入反馈限流电阻层以改善阴极薄膜的场发射发光均匀性.采用丝网印刷工艺在衬底上制备氧化锌作为电阻限流层,在其上制备CNT阴极薄膜.对CNT薄膜阴极的发射电流稳定性和均匀性进行了测试,给出了电阻限流层对场发射特性曲线的影响效果.SEM分析表明,氧化锌电阻层有利于消除CNT阴极的尖端屏蔽效应,并且使得CNT与衬底具有更加紧密的接触.场发射特性和场发射发光照片表明,虽然随着限流层厚度增加,阈值电压有所增加,发射电流有所减小,然而限流层的存在有效地改善了发射电流的稳定性,使得发射电流和场发射发光点分布更加均匀.
針對碳納米管(CNT)場髮射陰極薄膜中,CNT箇體差異及其與襯底的不良接觸對髮光均勻性的影響,引入反饋限流電阻層以改善陰極薄膜的場髮射髮光均勻性.採用絲網印刷工藝在襯底上製備氧化鋅作為電阻限流層,在其上製備CNT陰極薄膜.對CNT薄膜陰極的髮射電流穩定性和均勻性進行瞭測試,給齣瞭電阻限流層對場髮射特性麯線的影響效果.SEM分析錶明,氧化鋅電阻層有利于消除CNT陰極的尖耑屏蔽效應,併且使得CNT與襯底具有更加緊密的接觸.場髮射特性和場髮射髮光照片錶明,雖然隨著限流層厚度增加,閾值電壓有所增加,髮射電流有所減小,然而限流層的存在有效地改善瞭髮射電流的穩定性,使得髮射電流和場髮射髮光點分佈更加均勻.
침대탄납미관(CNT)장발사음겁박막중,CNT개체차이급기여츤저적불량접촉대발광균균성적영향,인입반궤한류전조층이개선음겁박막적장발사발광균균성.채용사망인쇄공예재츤저상제비양화자작위전조한류층,재기상제비CNT음겁박막.대CNT박막음겁적발사전류은정성화균균성진행료측시,급출료전조한류층대장발사특성곡선적영향효과.SEM분석표명,양화자전조층유리우소제CNT음겁적첨단병폐효응,병차사득CNT여츤저구유경가긴밀적접촉.장발사특성화장발사발광조편표명,수연수착한류층후도증가,역치전압유소증가,발사전류유소감소,연이한류층적존재유효지개선료발사전류적은정성,사득발사전류화장발사발광점분포경가균균.
