CAJ | 학술논문

采用低压等离子体化学气相沉积法(LPPCVD),在塑料微球表面制备了非晶碳氢(α-C:H)薄膜.利用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行了分析.主要研究了芯轴表面形貌、碰撞、反弹盘表面材料、薄膜厚度等四个因素对微球CH涂层表面形貌的影响.结果表明:芯轴表面形貌对CH涂层的表面形貌影响很大,改善芯轴表面形貌可提高涂层表面光洁度;当反弹盘的表面材质不同时,制备出的微球涂层的表面粗糙度有不同程度的差别;碰撞是引起微球CH涂层表面榴状突起的重要原因之一;微球CH涂层表面粗糙度随膜厚增加而单调增加.
채용저압등리자체화학기상침적법(LPPCVD),재소료미구표면제비료비정탄경(α-C:H)박막.이용광학현미경、원자력현미경(AFM)화소묘전자현미경(SEM)대박막적표면형모진행료분석.주요연구료심축표면형모、팽당、반탄반표면재료、박막후도등사개인소대미구CH도층표면형모적영향.결과표명:심축표면형모대CH도층적표면형모영향흔대,개선심축표면형모가제고도층표면광길도;당반탄반적표면재질불동시,제비출적미구도층적표면조조도유불동정도적차별;팽당시인기미구CH도층표면류상돌기적중요원인지일;미구CH도층표면조조도수막후증가이단조증가.