场发射电子显微镜实验室设计
장발사전자현미경실험실설계
The design for field emission electron microscope (FEEM) laboratory
  • 万方数据
    电子显微学报 전자현미학보
    JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
    2000年 5期 728-734 ,共7页

    闫允杰%唐国翌%郑大力

    염윤걸%당국익%정대력

    FEEM%隔震%磁屏蔽 FEEM%隔震%磁屏蔽
    FEEM%격진%자병폐
    场发射电子显微镜是新型超高精密的设备,其对机房安装环境有特殊要求.为保证这种电子显微镜获得高分辨率图像,必须严格控制震动和环境磁场的干扰.本文对场发射电子显微镜实验室的防磁、防震和接地等问题进行分析,通过实际施工后的现场检测证实本设计满足了场发射电镜室对环境的技术要求,保证了我校两台场发射电镜顺利安装验收.
    장발사전자현미경시신형초고정밀적설비,기대궤방안장배경유특수요구.위보증저충전자현미경획득고분변솔도상,필수엄격공제진동화배경자장적간우.본문대장발사전자현미경실험실적방자、방진화접지등문제진행분석,통과실제시공후적현장검측증실본설계만족료장발사전경실대배경적기술요구,보증료아교량태장발사전경순리안장험수.
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