压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2006年
5期
538-540
,共3页
张挺%徐思宇%冒继明%谭文耀%蒋春桥
張挺%徐思宇%冒繼明%譚文耀%蔣春橋
장정%서사우%모계명%담문요%장춘교
半球谐振陀螺%半球谐振子%内摩擦力%磁控溅射%金属化
半毬諧振陀螺%半毬諧振子%內摩抆力%磁控濺射%金屬化
반구해진타라%반구해진자%내마찰력%자공천사%금속화
高品质因数(即高Q值,Q＞107)的石英半球谐振子是制造高精度半球谐振陀螺的关键,而球面金属化镀膜工艺是半球振子制造的重要工艺环节.该文介绍了金属化镀膜工艺及其膜层均匀性对谐振子品质因数的影响及降低膜层残余应力的工艺解决方案等.
高品質因數(即高Q值,Q＞107)的石英半毬諧振子是製造高精度半毬諧振陀螺的關鍵,而毬麵金屬化鍍膜工藝是半毬振子製造的重要工藝環節.該文介紹瞭金屬化鍍膜工藝及其膜層均勻性對諧振子品質因數的影響及降低膜層殘餘應力的工藝解決方案等.
고품질인수(즉고Q치,Q＞107)적석영반구해진자시제조고정도반구해진타라적관건,이구면금속화도막공예시반구진자제조적중요공예배절.해문개소료금속화도막공예급기막층균균성대해진자품질인수적영향급강저막층잔여응력적공예해결방안등.
