中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2006年
6期
39-42
,共4页
王芦燕%王从曾%马捷%侯艳艳
王蘆燕%王從曾%馬捷%侯豔豔
왕호연%왕종증%마첩%후염염
化学气相沉积%钨铼合金%工艺
化學氣相沉積%鎢錸閤金%工藝
화학기상침적%오래합금%공예
以ReF6、WF6及H2为原料,用化学气相沉积法,成功地在铜基体表面沉积出钨铼合金.试验分析表明:合金成分均匀,且可由反应气体配比控制,随ReF6增加,合金中铼含量增加;沉积层组织和形貌随沉积温度升高或反应气体中ReF6的增加,由致密的柱状晶发展为杂乱的树枝晶;沉积层结构随ReF6的增加由单一固溶体向固溶体+金属间化合物+铼单质发展.
以ReF6、WF6及H2為原料,用化學氣相沉積法,成功地在銅基體錶麵沉積齣鎢錸閤金.試驗分析錶明:閤金成分均勻,且可由反應氣體配比控製,隨ReF6增加,閤金中錸含量增加;沉積層組織和形貌隨沉積溫度升高或反應氣體中ReF6的增加,由緻密的柱狀晶髮展為雜亂的樹枝晶;沉積層結構隨ReF6的增加由單一固溶體嚮固溶體+金屬間化閤物+錸單質髮展.
이ReF6、WF6급H2위원료,용화학기상침적법,성공지재동기체표면침적출오래합금.시험분석표명:합금성분균균,차가유반응기체배비공제,수ReF6증가,합금중래함량증가;침적층조직화형모수침적온도승고혹반응기체중ReF6적증가,유치밀적주상정발전위잡란적수지정;침적층결구수ReF6적증가유단일고용체향고용체+금속간화합물+래단질발전.
