人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
6期
1342-1348
,共7页
钟树泉%任晓敏%王琦%黄辉%黄永清%张霞%蔡世伟
鐘樹泉%任曉敏%王琦%黃輝%黃永清%張霞%蔡世偉
종수천%임효민%왕기%황휘%황영청%장하%채세위
MOCVD%反应器%输运过程%热对流
MOCVD%反應器%輸運過程%熱對流
MOCVD%반응기%수운과정%열대류
本文以低压、旋转、垂直喷淋结构的MOCVD反应器为对象,应用二维数学模型分析与计算,对反应器内部的质量输运过程进行了比较详细的研究与讨论.通过计算发现:在一定范围内,增加进气流量Q、降低操作压力P、设定适宜的生长温度t、保持合理的基座转速ω等,不仅可以非常有效地抑制热浮力效应,同时也使衬底表面流体的流动速度进一步增加,从而实现反应器内部的流场和温度场的均匀分布.研究的结果,不仅为高品质的外延生长提供了有效的解决方案,而且也为MOCVD反应器的优化设计提供了重要的参考依据.
本文以低壓、鏇轉、垂直噴淋結構的MOCVD反應器為對象,應用二維數學模型分析與計算,對反應器內部的質量輸運過程進行瞭比較詳細的研究與討論.通過計算髮現:在一定範圍內,增加進氣流量Q、降低操作壓力P、設定適宜的生長溫度t、保持閤理的基座轉速ω等,不僅可以非常有效地抑製熱浮力效應,同時也使襯底錶麵流體的流動速度進一步增加,從而實現反應器內部的流場和溫度場的均勻分佈.研究的結果,不僅為高品質的外延生長提供瞭有效的解決方案,而且也為MOCVD反應器的優化設計提供瞭重要的參攷依據.
본문이저압、선전、수직분림결구적MOCVD반응기위대상,응용이유수학모형분석여계산,대반응기내부적질량수운과정진행료비교상세적연구여토론.통과계산발현:재일정범위내,증가진기류량Q、강저조작압력P、설정괄의적생장온도t、보지합리적기좌전속ω등,불부가이비상유효지억제열부력효응,동시야사츤저표면류체적류동속도진일보증가,종이실현반응기내부적류장화온도장적균균분포.연구적결과,불부위고품질적외연생장제공료유효적해결방안,이차야위MOCVD반응기적우화설계제공료중요적삼고의거.
