云南化工
雲南化工
운남화공
YUNNAN CHEMICAL TECHNOLOGY
2011年
1期
57-58
,共2页
多晶硅%淋洗塔%无定型硅%还原炉
多晶硅%淋洗塔%無定型硅%還原爐
다정규%림세탑%무정형규%환원로
多晶硅炉试生产一个月后,废气淋洗塔在一周内着火9次.经检查,还原炉炉壁、炉子基盘上散布有无定型硅粉,回收的氯硅烷颜色呈黑灰色,系统检测DCS含量达10% ;MSA还原炉反应温度在900～1000℃之间,GT还原炉反应温度在1050℃～1100℃之间.分析研究后认为,MSA还原炉反应温度过低,处在生成DCS和无定型硅的温度区域,管道内富集了无定形硅,造成系统的堵塞,致废弃淋洗塔产生着火现象.采取了提高还原反应温度至1100～1150℃的措施,两周后,系统检测DCS含量降低到4%左右,淋洗塔不再着火,回收的氯硅烷颜色恢复.
多晶硅爐試生產一箇月後,廢氣淋洗塔在一週內著火9次.經檢查,還原爐爐壁、爐子基盤上散佈有無定型硅粉,迴收的氯硅烷顏色呈黑灰色,繫統檢測DCS含量達10% ;MSA還原爐反應溫度在900～1000℃之間,GT還原爐反應溫度在1050℃～1100℃之間.分析研究後認為,MSA還原爐反應溫度過低,處在生成DCS和無定型硅的溫度區域,管道內富集瞭無定形硅,造成繫統的堵塞,緻廢棄淋洗塔產生著火現象.採取瞭提高還原反應溫度至1100～1150℃的措施,兩週後,繫統檢測DCS含量降低到4%左右,淋洗塔不再著火,迴收的氯硅烷顏色恢複.
다정규로시생산일개월후,폐기림세탑재일주내착화9차.경검사,환원로로벽、로자기반상산포유무정형규분,회수적록규완안색정흑회색,계통검측DCS함량체10% ;MSA환원로반응온도재900～1000℃지간,GT환원로반응온도재1050℃～1100℃지간.분석연구후인위,MSA환원로반응온도과저,처재생성DCS화무정형규적온도구역,관도내부집료무정형규,조성계통적도새,치폐기림세탑산생착화현상.채취료제고환원반응온도지1100～1150℃적조시,량주후,계통검측DCS함량강저도4%좌우,림세탑불재착화,회수적록규완안색회복.
