光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
6期
65-70
,共6页
张运波%侯文玫%郑继红%官志超
張運波%侯文玫%鄭繼紅%官誌超
장운파%후문매%정계홍%관지초
共焦检测%数字微镜器件%虚拟针孔阵列%并行扫描
共焦檢測%數字微鏡器件%虛擬針孔陣列%併行掃描
공초검측%수자미경기건%허의침공진렬%병행소묘
研究了基于数字微镜器件(DMD)的多路并行共焦显微镜.利用DMD产生特定的图案对光源进行调制,形成多路并行共焦检测工作模式,其作用相当于虚拟针孔阵列,可以代替现有的并行扫描方式.采用DMD作为共焦系统的并行横向扫描方式,在不损失分辨率的前提下,大大提高了测量速度.系统中虚拟针孔的大小和周期等关键参数具有程序可控制性,能够根据不同的要求对样品进行测量.解决了分光棱镜内表面反射作用对共焦成像造成的干扰问题.设计了DMD横向扫描策略.对样机进行了测试实验,取得了系统的深度响应曲线,并且成功还原了被测物表面的微结构.
研究瞭基于數字微鏡器件(DMD)的多路併行共焦顯微鏡.利用DMD產生特定的圖案對光源進行調製,形成多路併行共焦檢測工作模式,其作用相噹于虛擬針孔陣列,可以代替現有的併行掃描方式.採用DMD作為共焦繫統的併行橫嚮掃描方式,在不損失分辨率的前提下,大大提高瞭測量速度.繫統中虛擬針孔的大小和週期等關鍵參數具有程序可控製性,能夠根據不同的要求對樣品進行測量.解決瞭分光稜鏡內錶麵反射作用對共焦成像造成的榦擾問題.設計瞭DMD橫嚮掃描策略.對樣機進行瞭測試實驗,取得瞭繫統的深度響應麯線,併且成功還原瞭被測物錶麵的微結構.
연구료기우수자미경기건(DMD)적다로병행공초현미경.이용DMD산생특정적도안대광원진행조제,형성다로병행공초검측공작모식,기작용상당우허의침공진렬,가이대체현유적병행소묘방식.채용DMD작위공초계통적병행횡향소묘방식,재불손실분변솔적전제하,대대제고료측량속도.계통중허의침공적대소화주기등관건삼수구유정서가공제성,능구근거불동적요구대양품진행측량.해결료분광릉경내표면반사작용대공초성상조성적간우문제.설계료DMD횡향소묘책략.대양궤진행료측시실험,취득료계통적심도향응곡선,병차성공환원료피측물표면적미결구.
