光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2004年
4期
411-414
,共4页
宋文荣%陈阳%宋晓东%何惠阳%郭凡林
宋文榮%陳暘%宋曉東%何惠暘%郭凡林
송문영%진양%송효동%하혜양%곽범림
磁悬浮%进给机构%电涡流传感器%磁力耦合
磁懸浮%進給機構%電渦流傳感器%磁力耦閤
자현부%진급궤구%전와류전감기%자력우합
研究了磁悬浮进给机构在进给运动时的磁力耦合现象.进给机构的磁悬浮系统采用了具有自动归中作用的V型导轨结构,保证了机构进给运动的导向精度,可应用于光刻机等精密光机系统,且满足超净无尘及精密定位要求.通过分析机构磁悬浮系统中电磁铁的磁力分布,给出了耦合磁力的计算公式.分析结果表明:磁悬浮系统在其控制过程中存在着磁力耦合,具体表现为:如果进给运动时平台在水平方向发生偏移,那么左右两侧电磁铁的磁力在水平及水平垂直方向将产生相互耦合作用;而垂直方向的偏移不会引起磁力的耦合.在控制系统中引入补偿器后,可使系统解耦,因产生的耦合磁力很微小,可以忽略不记.
研究瞭磁懸浮進給機構在進給運動時的磁力耦閤現象.進給機構的磁懸浮繫統採用瞭具有自動歸中作用的V型導軌結構,保證瞭機構進給運動的導嚮精度,可應用于光刻機等精密光機繫統,且滿足超淨無塵及精密定位要求.通過分析機構磁懸浮繫統中電磁鐵的磁力分佈,給齣瞭耦閤磁力的計算公式.分析結果錶明:磁懸浮繫統在其控製過程中存在著磁力耦閤,具體錶現為:如果進給運動時平檯在水平方嚮髮生偏移,那麽左右兩側電磁鐵的磁力在水平及水平垂直方嚮將產生相互耦閤作用;而垂直方嚮的偏移不會引起磁力的耦閤.在控製繫統中引入補償器後,可使繫統解耦,因產生的耦閤磁力很微小,可以忽略不記.
연구료자현부진급궤구재진급운동시적자력우합현상.진급궤구적자현부계통채용료구유자동귀중작용적V형도궤결구,보증료궤구진급운동적도향정도,가응용우광각궤등정밀광궤계통,차만족초정무진급정밀정위요구.통과분석궤구자현부계통중전자철적자력분포,급출료우합자력적계산공식.분석결과표명:자현부계통재기공제과정중존재착자력우합,구체표현위:여과진급운동시평태재수평방향발생편이,나요좌우량측전자철적자력재수평급수평수직방향장산생상호우합작용;이수직방향적편이불회인기자력적우합.재공제계통중인입보상기후,가사계통해우,인산생적우합자력흔미소,가이홀략불기.
