传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1599-1601,1605
,共4页
余存江%唐洁影%恩云飞%师谦
餘存江%唐潔影%恩雲飛%師謙
여존강%당길영%은운비%사겸
多晶硅%疲劳%MEMS%梁%杨氏模量
多晶硅%疲勞%MEMS%樑%楊氏模量
다정규%피로%MEMS%량%양씨모량
针对多晶硅的疲劳失效机理,人们已经提出了一些解释的模型.然而,到目前为止没有一种模型能够全面地阐述疲劳失效机理.本文旨在采用参量的渐变,如平均杨氏模量E,来反映MEMS多晶硅梁的疲劳.通过测试周期性载荷下双端固支梁结构的pull-in电压变化,确定杨氏模量E的变化,进而表征梁的疲劳失效状态.
針對多晶硅的疲勞失效機理,人們已經提齣瞭一些解釋的模型.然而,到目前為止沒有一種模型能夠全麵地闡述疲勞失效機理.本文旨在採用參量的漸變,如平均楊氏模量E,來反映MEMS多晶硅樑的疲勞.通過測試週期性載荷下雙耑固支樑結構的pull-in電壓變化,確定楊氏模量E的變化,進而錶徵樑的疲勞失效狀態.
침대다정규적피로실효궤리,인문이경제출료일사해석적모형.연이,도목전위지몰유일충모형능구전면지천술피로실효궤리.본문지재채용삼량적점변,여평균양씨모량E,래반영MEMS다정규량적피로.통과측시주기성재하하쌍단고지량결구적pull-in전압변화,학정양씨모량E적변화,진이표정량적피로실효상태.
