功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
1期
50-52
,共3页
高来勖%刘超%高智勇%安旭%蔡伟%赵连城
高來勗%劉超%高智勇%安旭%蔡偉%趙連城
고래욱%류초%고지용%안욱%채위%조련성
Ni-Mn-Ga%磁驱动形状记忆合金%薄膜%溅射
Ni-Mn-Ga%磁驅動形狀記憶閤金%薄膜%濺射
Ni-Mn-Ga%자구동형상기억합금%박막%천사
采用直流磁控溅射技术沉积了Ni49.54Mn29.59Ga20.87磁驱动形状记忆合金薄膜.XRD结果表明,Ni49.54Mn29.59Ga20.87薄膜室温下为5层调制型结构马氏体.X射线光电子能谱(XPS)分析表明,放置于空气中2个月的沉积态薄膜表面吸附少量氧和碳杂质.随Ar+刻蚀深度的增加,表面C杂质易被剥蚀掉,而部分氧杂质以MnO状态存在;Ni、Mn、Ga元素含量由薄膜表面向内层逐渐增加,化学价由正价向零价转变.
採用直流磁控濺射技術沉積瞭Ni49.54Mn29.59Ga20.87磁驅動形狀記憶閤金薄膜.XRD結果錶明,Ni49.54Mn29.59Ga20.87薄膜室溫下為5層調製型結構馬氏體.X射線光電子能譜(XPS)分析錶明,放置于空氣中2箇月的沉積態薄膜錶麵吸附少量氧和碳雜質.隨Ar+刻蝕深度的增加,錶麵C雜質易被剝蝕掉,而部分氧雜質以MnO狀態存在;Ni、Mn、Ga元素含量由薄膜錶麵嚮內層逐漸增加,化學價由正價嚮零價轉變.
채용직류자공천사기술침적료Ni49.54Mn29.59Ga20.87자구동형상기억합금박막.XRD결과표명,Ni49.54Mn29.59Ga20.87박막실온하위5층조제형결구마씨체.X사선광전자능보(XPS)분석표명,방치우공기중2개월적침적태박막표면흡부소량양화탄잡질.수Ar+각식심도적증가,표면C잡질역피박식도,이부분양잡질이MnO상태존재;Ni、Mn、Ga원소함량유박막표면향내층축점증가,화학개유정개향령개전변.
