光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2008年
7期
902-904
,共3页
郭德博%梁萌%范曼宁%刘志强%王良臣%王国宏
郭德博%樑萌%範曼寧%劉誌彊%王良臣%王國宏
곽덕박%량맹%범만저%류지강%왕량신%왕국굉
p型GaN%欧姆接触%两步合金法%高反射电极
p型GaN%歐姆接觸%兩步閤金法%高反射電極
p형GaN%구모접촉%량보합금법%고반사전겁
利用两步合金法获得了能与p-GaN形成良好欧姆接触的高反射电极.电极的构成采用透明电极+高反射金属方案,厚的Ag层或Al层覆盖在合金后的Ni/Au上以提高电极的反射率,以Pt和Au作为覆盖层,可有效地防止Ag的氧化和团聚,短时间的热处理有助于Ag基电极反射率的提高.可靠性测试表明Ag基电极的稳定性较好,对于Al基电极,热处理后反射镜上出现暗斑,导致其反射率的下降.最终获得了波长在460nm处反射率为74%的Ag基高反射电极.
利用兩步閤金法穫得瞭能與p-GaN形成良好歐姆接觸的高反射電極.電極的構成採用透明電極+高反射金屬方案,厚的Ag層或Al層覆蓋在閤金後的Ni/Au上以提高電極的反射率,以Pt和Au作為覆蓋層,可有效地防止Ag的氧化和糰聚,短時間的熱處理有助于Ag基電極反射率的提高.可靠性測試錶明Ag基電極的穩定性較好,對于Al基電極,熱處理後反射鏡上齣現暗斑,導緻其反射率的下降.最終穫得瞭波長在460nm處反射率為74%的Ag基高反射電極.
이용량보합금법획득료능여p-GaN형성량호구모접촉적고반사전겁.전겁적구성채용투명전겁+고반사금속방안,후적Ag층혹Al층복개재합금후적Ni/Au상이제고전겁적반사솔,이Pt화Au작위복개층,가유효지방지Ag적양화화단취,단시간적열처리유조우Ag기전겁반사솔적제고.가고성측시표명Ag기전겁적은정성교호,대우Al기전겁,열처리후반사경상출현암반,도치기반사솔적하강.최종획득료파장재460nm처반사솔위74%적Ag기고반사전겁.
