机电产品开发与创新
機電產品開髮與創新
궤전산품개발여창신
DEVELOPMENT & INNOVATION OF MACHINERY & ELECTRICAL PRODUCTS
2010年
6期
85-87
,共3页
多组合设备%着色时间Petri网%晶圆加工%建模
多組閤設備%著色時間Petri網%晶圓加工%建模
다조합설비%착색시간Petri망%정원가공%건모
模块化组合设备(cluser tool)是晶圆制造过程中的一种典型的集成化设备,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定.针对这一特点,研究了多组合设备(Multi-cluster tool)系统的Petri网建模问题.本文对晶圆加工多组合设备的加工流程进行了分析,提出了一种多组合设备系统的分解方法,并构建了多组合设备系统的着色时间Petri网模型.
模塊化組閤設備(cluser tool)是晶圓製造過程中的一種典型的集成化設備,設備配置的複雜程度由晶圓加工工藝方案決定.針對這一特點,研究瞭多組閤設備(Multi-cluster tool)繫統的Petri網建模問題.本文對晶圓加工多組閤設備的加工流程進行瞭分析,提齣瞭一種多組閤設備繫統的分解方法,併構建瞭多組閤設備繫統的著色時間Petri網模型.
모괴화조합설비(cluser tool)시정원제조과정중적일충전형적집성화설비,설비배치적복잡정도유정원가공공예방안결정.침대저일특점,연구료다조합설비(Multi-cluster tool)계통적Petri망건모문제.본문대정원가공다조합설비적가공류정진행료분석,제출료일충다조합설비계통적분해방법,병구건료다조합설비계통적착색시간Petri망모형.
