微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
1期
58-62,68
,共6页
刘黎明%曾华荣%杨培志%李国荣%殷庆瑞
劉黎明%曾華榮%楊培誌%李國榮%慇慶瑞
류려명%증화영%양배지%리국영%은경서
铁电刻蚀%铁电畴图形化%纳米器件%扫描探针显微术%微电极%电子束
鐵電刻蝕%鐵電疇圖形化%納米器件%掃描探針顯微術%微電極%電子束
철전각식%철전주도형화%납미기건%소묘탐침현미술%미전겁%전자속
铁电刻蚀是一种新颖的刻蚀技术,在铁电研究领域日益受到重视.对铁电刻蚀的研究现状进行了综述.首先介绍了铁电极化对铁电材料表面性能的影响,然后详细阐述了铁电畴图形化的三种方法,即微电极图形化、扫描探针图形化和电子束图形化,并分析了它们的图形化机制和特点.其中微电极方法的铁电畴图形的最小尺寸为微米量级,而扫描探针和电子束方法的铁电畴图形的最小尺寸可小于100 nm.与铁电畴定位的表面反应相结合,铁电刻蚀可为纳米结构的制造提供新的途径,因此在纳米器件领域具有广泛的应用前景.未来铁电刻蚀技术发展的方向是在改进铁电刻蚀技术的同时推进其在纳米器件制造中的应用.
鐵電刻蝕是一種新穎的刻蝕技術,在鐵電研究領域日益受到重視.對鐵電刻蝕的研究現狀進行瞭綜述.首先介紹瞭鐵電極化對鐵電材料錶麵性能的影響,然後詳細闡述瞭鐵電疇圖形化的三種方法,即微電極圖形化、掃描探針圖形化和電子束圖形化,併分析瞭它們的圖形化機製和特點.其中微電極方法的鐵電疇圖形的最小呎吋為微米量級,而掃描探針和電子束方法的鐵電疇圖形的最小呎吋可小于100 nm.與鐵電疇定位的錶麵反應相結閤,鐵電刻蝕可為納米結構的製造提供新的途徑,因此在納米器件領域具有廣汎的應用前景.未來鐵電刻蝕技術髮展的方嚮是在改進鐵電刻蝕技術的同時推進其在納米器件製造中的應用.
철전각식시일충신영적각식기술,재철전연구영역일익수도중시.대철전각식적연구현상진행료종술.수선개소료철전겁화대철전재료표면성능적영향,연후상세천술료철전주도형화적삼충방법,즉미전겁도형화、소묘탐침도형화화전자속도형화,병분석료타문적도형화궤제화특점.기중미전겁방법적철전주도형적최소척촌위미미량급,이소묘탐침화전자속방법적철전주도형적최소척촌가소우100 nm.여철전주정위적표면반응상결합,철전각식가위납미결구적제조제공신적도경,인차재납미기건영역구유엄범적응용전경.미래철전각식기술발전적방향시재개진철전각식기술적동시추진기재납미기건제조중적응용.
