中国粉体技术
中國粉體技術
중국분체기술
CHINA POWDER SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
1期
52-54,58
,共4页
磨料%碳化硅%粒径分布%线切割
磨料%碳化硅%粒徑分佈%線切割
마료%탄화규%립경분포%선절할
研究不同粒度分布的碳化硅磨料时线切割硅片表面损伤的影响.利用激光粒度仪和扫描电镜对切割前后碳化硅粒径的变化及切割后硅片的形貌进行表征,通过实际切割过程分析.指出粒度分布不均引起的局部切割堵塞而导致的垂直于切割方向的左右侧滑振动.是导致表面损伤的主要因为.结果表明:当碳化硅的粒度分布窄时,线切割硅片表面损伤层浅,表面粗糙度小.
研究不同粒度分佈的碳化硅磨料時線切割硅片錶麵損傷的影響.利用激光粒度儀和掃描電鏡對切割前後碳化硅粒徑的變化及切割後硅片的形貌進行錶徵,通過實際切割過程分析.指齣粒度分佈不均引起的跼部切割堵塞而導緻的垂直于切割方嚮的左右側滑振動.是導緻錶麵損傷的主要因為.結果錶明:噹碳化硅的粒度分佈窄時,線切割硅片錶麵損傷層淺,錶麵粗糙度小.
연구불동립도분포적탄화규마료시선절할규편표면손상적영향.이용격광립도의화소묘전경대절할전후탄화규립경적변화급절할후규편적형모진행표정,통과실제절할과정분석.지출립도분포불균인기적국부절할도새이도치적수직우절할방향적좌우측활진동.시도치표면손상적주요인위.결과표명:당탄화규적립도분포착시,선절할규편표면손상층천,표면조조도소.
