激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
3期
415-417
,共3页
雷洁红%段浩%邢丕峰%唐永建
雷潔紅%段浩%邢丕峰%唐永建
뢰길홍%단호%형비봉%당영건
薄膜%软X射线多层膜%多层膜设计%间隔层材料
薄膜%軟X射線多層膜%多層膜設計%間隔層材料
박막%연X사선다층막%다층막설계%간격층재료
为了研究常用间隔层材料的软x射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系.结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在12.44nm是首选膜系外(除4.36nm外),其它波长都有较高的反射率;U作为吸收层材料,在相当大的波段范围内,与其它间隔层材料配对的多层膜也具有较高的反射率.这对多层膜膜系的材料选择有一定的指导意义.
為瞭研究常用間隔層材料的軟x射線多層膜的材料設計,利用Lawrence-Livermore國傢實驗室提供的軟X射線多層膜設計程序進行模擬計算,得到瞭軟X射線波段內的具有高反射率的膜繫.結果錶明,Mo在相噹大的波段範圍內具有良好的光學特性;除瞭在12.44nm是首選膜繫外(除4.36nm外),其它波長都有較高的反射率;U作為吸收層材料,在相噹大的波段範圍內,與其它間隔層材料配對的多層膜也具有較高的反射率.這對多層膜膜繫的材料選擇有一定的指導意義.
위료연구상용간격층재료적연x사선다층막적재료설계,이용Lawrence-Livermore국가실험실제공적연X사선다층막설계정서진행모의계산,득도료연X사선파단내적구유고반사솔적막계.결과표명,Mo재상당대적파단범위내구유량호적광학특성;제료재12.44nm시수선막계외(제4.36nm외),기타파장도유교고적반사솔;U작위흡수층재료,재상당대적파단범위내,여기타간격층재료배대적다층막야구유교고적반사솔.저대다층막막계적재료선택유일정적지도의의.
