光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
6期
1182-1187
,共6页
王璠璟%肖文%潘锋%丛琳%李建毅
王璠璟%肖文%潘鋒%叢琳%李建毅
왕번경%초문%반봉%총림%리건의
数字全息%光学元件%离轴检测%相位补偿%合成孔径
數字全息%光學元件%離軸檢測%相位補償%閤成孔徑
수자전식%광학원건%리축검측%상위보상%합성공경
针对光学元件表面质量在线检测的特点,设计了基于数字全息的三维再现检测系统.该系统采用离轴光路,避开了被测元件的光轴,在数字全息再现过程中应用倾斜相差补偿技术去除了由于离轴检测引入的倾斜相位畸变.在检测过程中,利用围绕光轴旋转被测元件的方法来改变入射照明光方向矢量和相应的观察方向,实现了多照明矢量合成孔径技术的应用,扩展了系统的检测距离,提高了系统分辨率.同时,多照明角度下检测数据的叠加,还有效地抑制了检测过程中出现的散斑噪声对结果准确度的影响.通过对分辨率板、高精度玻璃反射镜的检测实验,验证了该系统在光学元件表面检测中的作用.当记录距离为40 cm时,其分辨率能够达到10 μm,满足光学元件表面检测的需要.
針對光學元件錶麵質量在線檢測的特點,設計瞭基于數字全息的三維再現檢測繫統.該繫統採用離軸光路,避開瞭被測元件的光軸,在數字全息再現過程中應用傾斜相差補償技術去除瞭由于離軸檢測引入的傾斜相位畸變.在檢測過程中,利用圍繞光軸鏇轉被測元件的方法來改變入射照明光方嚮矢量和相應的觀察方嚮,實現瞭多照明矢量閤成孔徑技術的應用,擴展瞭繫統的檢測距離,提高瞭繫統分辨率.同時,多照明角度下檢測數據的疊加,還有效地抑製瞭檢測過程中齣現的散斑譟聲對結果準確度的影響.通過對分辨率闆、高精度玻璃反射鏡的檢測實驗,驗證瞭該繫統在光學元件錶麵檢測中的作用.噹記錄距離為40 cm時,其分辨率能夠達到10 μm,滿足光學元件錶麵檢測的需要.
침대광학원건표면질량재선검측적특점,설계료기우수자전식적삼유재현검측계통.해계통채용리축광로,피개료피측원건적광축,재수자전식재현과정중응용경사상차보상기술거제료유우리축검측인입적경사상위기변.재검측과정중,이용위요광축선전피측원건적방법래개변입사조명광방향시량화상응적관찰방향,실현료다조명시량합성공경기술적응용,확전료계통적검측거리,제고료계통분변솔.동시,다조명각도하검측수거적첩가,환유효지억제료검측과정중출현적산반조성대결과준학도적영향.통과대분변솔판、고정도파리반사경적검측실험,험증료해계통재광학원건표면검측중적작용.당기록거리위40 cm시,기분변솔능구체도10 μm,만족광학원건표면검측적수요.
