微波频率下Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的介电特性随温度及外加偏压变化的检测
미파빈솔하Ba0.5Sr0.5TiO3박막적개전특성수온도급외가편압변화적검측
STUDY OF TEMPERATURE AND FIELD DEPENDENCE OF FERROELECTRIC THIN FILMS AT MICROWAVE FREQUENCIES
  • 万方数据
    低温物理学报 저온물이학보
    CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
    2006年 3期 291-295 ,共5页

    孟庆端%张雪强%李翡%朱小红%郑东宁%罗强%顾长治%何豫生

    맹경단%장설강%리비%주소홍%정동저%라강%고장치%하예생

    钛酸锶钡薄%共面带阻滤波器 鈦痠鍶鋇薄%共麵帶阻濾波器
    태산송패박%공면대조려파기
    提出了一种新的结构来表征钛酸锶钡薄膜在微波频率下的介电特性,即在沉积有钛酸锶钡薄膜的氧化镁基片上制作了共面带阻滤波器.借助于共面带阻滤波器的谐振频率和Q值,通过比较其测量值与仿真值,可以得出钛酸锶钡薄膜的介电常数和介电损耗.在变温测试过程中,注意到金导电层的电导率对带阻滤波器的谐振频率和Q值有较大的影响.为了准确地得到钛酸锶钡薄膜的介电特性,仔细分析了金导电层对带阻滤波器频率响应曲线的影响,并在比较求值过程中消除了这一影响.
    제출료일충신적결구래표정태산송패박막재미파빈솔하적개전특성,즉재침적유태산송패박막적양화미기편상제작료공면대조려파기.차조우공면대조려파기적해진빈솔화Q치,통과비교기측량치여방진치,가이득출태산송패박막적개전상수화개전손모.재변온측시과정중,주의도금도전층적전도솔대대조려파기적해진빈솔화Q치유교대적영향.위료준학지득도태산송패박막적개전특성,자세분석료금도전층대대조려파기빈솔향응곡선적영향,병재비교구치과정중소제료저일영향.
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