山东陶瓷
山東陶瓷
산동도자
SHANDONG CERAMICS
2006年
3期
17-19
,共3页
二氧化硅基波导薄膜%制备工艺
二氧化硅基波導薄膜%製備工藝
이양화규기파도박막%제비공예
本文总结了目前制备二氧化硅基波导薄膜的各种制备工艺,包括广泛采用的等离子增强化学气相沉积法(PECVD)和火焰水解法(FHD)以及低压化学气相沉积法、溅射法、离子交换法、离子注入法和溶胶-凝胶法等制备方法,并对各种工艺的原理、特点和应用现状进行了详细的介绍.
本文總結瞭目前製備二氧化硅基波導薄膜的各種製備工藝,包括廣汎採用的等離子增彊化學氣相沉積法(PECVD)和火燄水解法(FHD)以及低壓化學氣相沉積法、濺射法、離子交換法、離子註入法和溶膠-凝膠法等製備方法,併對各種工藝的原理、特點和應用現狀進行瞭詳細的介紹.
본문총결료목전제비이양화규기파도박막적각충제비공예,포괄엄범채용적등리자증강화학기상침적법(PECVD)화화염수해법(FHD)이급저압화학기상침적법、천사법、리자교환법、리자주입법화용효-응효법등제비방법,병대각충공예적원리、특점화응용현상진행료상세적개소.
