仪表技术
儀錶技術
의표기술
2008年
10期
62-64
,共3页
周丽丽%孔德义%江儒龙%郭家玉
週麗麗%孔德義%江儒龍%郭傢玉
주려려%공덕의%강유룡%곽가옥
开关电容技术%微小差分电容检测%MEMS电容式微加速度计
開關電容技術%微小差分電容檢測%MEMS電容式微加速度計
개관전용기술%미소차분전용검측%MEMS전용식미가속도계
介绍一种MEMS电容式微加速度计的结构和等效电路,然后介绍了开关电容放大器的工作原理,最后用可消除寄生电容的等效跨阻取代普通开关电容运放中的并联模拟电阻.设计了一种对寄生电容不敏感的电容-电压转换电路,该电路可用于检测电容传感器的微小差分电容.
介紹一種MEMS電容式微加速度計的結構和等效電路,然後介紹瞭開關電容放大器的工作原理,最後用可消除寄生電容的等效跨阻取代普通開關電容運放中的併聯模擬電阻.設計瞭一種對寄生電容不敏感的電容-電壓轉換電路,該電路可用于檢測電容傳感器的微小差分電容.
개소일충MEMS전용식미가속도계적결구화등효전로,연후개소료개관전용방대기적공작원리,최후용가소제기생전용적등효과조취대보통개관전용운방중적병련모의전조.설계료일충대기생전용불민감적전용-전압전환전로,해전로가용우검측전용전감기적미소차분전용.
