电子工艺技术
電子工藝技術
전자공예기술
ELECTRONICS PROCESS TECHNOLOGY
2009年
2期
86-88
,共3页
毛小红%高能武%项博%秦跃利
毛小紅%高能武%項博%秦躍利
모소홍%고능무%항박%진약리
微波%单片%陶瓷电路%薄膜
微波%單片%陶瓷電路%薄膜
미파%단편%도자전로%박막
微波单片陶瓷电路(MMCC)是一项新兴的薄膜集成技术,是将构成微波电路的要素尽可能采用薄膜电路的实现方式集成于陶瓷基片上,并采用微细实心金属孔及空气桥、介质跨接等工艺实现接地、跨接和互联,可大大提高集成度,改善微波产品的性能.对该项技术进行了简要的介绍,并对主要的工艺技术如微小实心孔及金属化、集成电容技术、介质桥技术进行了重点阐述,同时应用MMCC技术设计和制作了微波鉴相电路,达到了预期效果.
微波單片陶瓷電路(MMCC)是一項新興的薄膜集成技術,是將構成微波電路的要素儘可能採用薄膜電路的實現方式集成于陶瓷基片上,併採用微細實心金屬孔及空氣橋、介質跨接等工藝實現接地、跨接和互聯,可大大提高集成度,改善微波產品的性能.對該項技術進行瞭簡要的介紹,併對主要的工藝技術如微小實心孔及金屬化、集成電容技術、介質橋技術進行瞭重點闡述,同時應用MMCC技術設計和製作瞭微波鑒相電路,達到瞭預期效果.
미파단편도자전로(MMCC)시일항신흥적박막집성기술,시장구성미파전로적요소진가능채용박막전로적실현방식집성우도자기편상,병채용미세실심금속공급공기교、개질과접등공예실현접지、과접화호련,가대대제고집성도,개선미파산품적성능.대해항기술진행료간요적개소,병대주요적공예기술여미소실심공급금속화、집성전용기술、개질교기술진행료중점천술,동시응용MMCC기술설계화제작료미파감상전로,체도료예기효과.
