曲阜师范大学学报（自然科学版）
麯阜師範大學學報（自然科學版）
곡부사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QUFU NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
1期
48-50
,共3页
郝殿中%韩培高%马丽丽%苏富芳%宋连科
郝殿中%韓培高%馬麗麗%囌富芳%宋連科
학전중%한배고%마려려%소부방%송련과
光学薄膜%基板温度%残余应力%电子束沉积%LaF3
光學薄膜%基闆溫度%殘餘應力%電子束沉積%LaF3
광학박막%기판온도%잔여응력%전자속침적%LaF3
采用电子束沉积的方法,分别在K9玻璃基片上制备了LaF3单层膜.研究了基板温度对LaF3薄膜残余应力的影响;基板温度从200 ℃上升到350℃,间隔为50℃.利用ZYGO干涉仪测量了基板镀膜前后的面型变化,利用Stoney公式计算出残余应力;分析结果表明:在本实验条件下,残余应力为张应力,随基板温度的增加,有增大的趋势.
採用電子束沉積的方法,分彆在K9玻璃基片上製備瞭LaF3單層膜.研究瞭基闆溫度對LaF3薄膜殘餘應力的影響;基闆溫度從200 ℃上升到350℃,間隔為50℃.利用ZYGO榦涉儀測量瞭基闆鍍膜前後的麵型變化,利用Stoney公式計算齣殘餘應力;分析結果錶明:在本實驗條件下,殘餘應力為張應力,隨基闆溫度的增加,有增大的趨勢.
채용전자속침적적방법,분별재K9파리기편상제비료LaF3단층막.연구료기판온도대LaF3박막잔여응력적영향;기판온도종200 ℃상승도350℃,간격위50℃.이용ZYGO간섭의측량료기판도막전후적면형변화,이용Stoney공식계산출잔여응력;분석결과표명:재본실험조건하,잔여응력위장응력,수기판온도적증가,유증대적추세.
