电力电子技术
電力電子技術
전력전자기술
POWER ELECTRONICS
2011年
5期
78-80
,共3页
高功率脉冲电源%磁控溅射电源%均流斩波
高功率脈遲電源%磁控濺射電源%均流斬波
고공솔맥충전원%자공천사전원%균류참파
高功率脉冲磁控溅射以其高离化率、高薄膜性能等特点得到广泛关注.介绍了高功率脉冲电源系统的原理和研制,提出了基于全桥逆变、电容储能、均流斩波等环节实现电源的方案,分别阐述了主回路、控制系统、保护电路的设计思路.电源系统采用全桥逆变实现初级能源,电容储能实现中间能源,均流斩波实现功率输出,单片机和SG3525实现控制部分.实验结果证明电源运行可靠,输出特性良好,抗干扰能力强.
高功率脈遲磁控濺射以其高離化率、高薄膜性能等特點得到廣汎關註.介紹瞭高功率脈遲電源繫統的原理和研製,提齣瞭基于全橋逆變、電容儲能、均流斬波等環節實現電源的方案,分彆闡述瞭主迴路、控製繫統、保護電路的設計思路.電源繫統採用全橋逆變實現初級能源,電容儲能實現中間能源,均流斬波實現功率輸齣,單片機和SG3525實現控製部分.實驗結果證明電源運行可靠,輸齣特性良好,抗榦擾能力彊.
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