多层膜聚光镜对 Schwarzschild 显微镜成像均匀性的影响
다층막취광경대 Schwarzschild 현미경성상균균성적영향
Influence of multilayer films condenser on imaging uniformity of Schwarzschild microscope
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2011年 5期 1259-1263 ,共5页

    王新%穆宝忠%黄怡%翟梓融%伊圣振%蒋励%朱京涛%王占山%刘红杰%曹磊峰%谷渝秋

    왕신%목보충%황이%적재융%이골진%장려%주경도%왕점산%류홍걸%조뢰봉%곡투추

    Schwarzschild显微镜%激光等离子体%聚光镜%Mo/Si多层膜%空间分辨力 Schwarzschild顯微鏡%激光等離子體%聚光鏡%Mo/Si多層膜%空間分辨力
    Schwarzschild현미경%격광등리자체%취광경%Mo/Si다층막%공간분변력
    提出了利用多层膜聚光镜提高 Schwarzschild 显微镜成像均匀性的方法.设计了聚光镜的光学结构,使80%的等离子体辐射能量会聚在约0.8 mm直径的范围内,根据成像系统的工作波长和光线在聚光镜表面的入射角度,设计了Mo/Si周期多层膜,制备了聚光镜光学元件,膜层周期厚度为9.64 nm,周期数为30,对18.2 nm波长的峰值反射率为51.7%.利用所设计的聚光镜作为照明系统,对Schwarzschild物镜进行了网格成像实验.结果表明:在1.2 mm视场内可以实现2.5μm的空间分辨力,并且完全消除了物镜中心遮拦所造成的像面光强分布不均匀性.
    제출료이용다층막취광경제고 Schwarzschild 현미경성상균균성적방법.설계료취광경적광학결구,사80%적등리자체복사능량회취재약0.8 mm직경적범위내,근거성상계통적공작파장화광선재취광경표면적입사각도,설계료Mo/Si주기다층막,제비료취광경광학원건,막층주기후도위9.64 nm,주기수위30,대18.2 nm파장적봉치반사솔위51.7%.이용소설계적취광경작위조명계통,대Schwarzschild물경진행료망격성상실험.결과표명:재1.2 mm시장내가이실현2.5μm적공간분변력,병차완전소제료물경중심차란소조성적상면광강분포불균균성.
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