红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2011年
10期
598-601
,共4页
李艳辉%杨春章%苏栓%谭英%高丽华%赵俊
李豔輝%楊春章%囌栓%譚英%高麗華%趙俊
리염휘%양춘장%소전%담영%고려화%조준
分子束外延(MBE)%CdTe薄膜%半峰宽(FWHM)%腐蚀坑密度(EPD)
分子束外延(MBE)%CdTe薄膜%半峰寬(FWHM)%腐蝕坑密度(EPD)
분자속외연(MBE)%CdTe박막%반봉관(FWHM)%부식갱밀도(EPD)
采用分子束外延在3英寸Ge(211)衬底上生长了10 μm厚的CdTe(211)B薄膜.CdTe表面镜面光亮,3英寸范围厚度平均值9.72 μm,偏差0.3 μm;薄膜晶体质量通过X射线双晶迴摆曲线进行评价,FWHM平均值80.23 arcsec,偏差3.03 arcsec; EPD平均值为4.5×106cm-2.通过研究CdTe薄膜厚度与FWHM和EPD的关系,得到CdTe的理想厚度为8～9 μm.
採用分子束外延在3英吋Ge(211)襯底上生長瞭10 μm厚的CdTe(211)B薄膜.CdTe錶麵鏡麵光亮,3英吋範圍厚度平均值9.72 μm,偏差0.3 μm;薄膜晶體質量通過X射線雙晶迴襬麯線進行評價,FWHM平均值80.23 arcsec,偏差3.03 arcsec; EPD平均值為4.5×106cm-2.通過研究CdTe薄膜厚度與FWHM和EPD的關繫,得到CdTe的理想厚度為8～9 μm.
채용분자속외연재3영촌Ge(211)츤저상생장료10 μm후적CdTe(211)B박막.CdTe표면경면광량,3영촌범위후도평균치9.72 μm,편차0.3 μm;박막정체질량통과X사선쌍정회파곡선진행평개,FWHM평균치80.23 arcsec,편차3.03 arcsec; EPD평균치위4.5×106cm-2.통과연구CdTe박막후도여FWHM화EPD적관계,득도CdTe적이상후도위8～9 μm.
