真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
1期
41-46,49
,共7页
丁万昱%高鹏%邓新绿%董闯%徐军
丁萬昱%高鵬%鄧新綠%董闖%徐軍
정만욱%고붕%산신록%동틈%서군
类金刚石%磁盘%磁过滤弧%等离子体增强化学气相沉积
類金剛石%磁盤%磁過濾弧%等離子體增彊化學氣相沉積
류금강석%자반%자과려호%등리자체증강화학기상침적
类金刚石膜在磁盘和读写磁头之上形成一层关键的保护膜.磁存储密度的飞速发展可以使存储密度上限达到1万亿字节/英寸2.这要求读写磁头距离磁盘更近,即需要一层仅1 nm～2 nm厚的类金刚石薄膜.四面体结构的非晶碳膜能够满足磁存储技术的要求,即形成原子尺度平滑、连续、致密,只有几个原子层厚的碳膜.磁过滤阴极弧方法、等离子体增强化学气相沉积方法可用来制备符合要求的超薄碳膜.
類金剛石膜在磁盤和讀寫磁頭之上形成一層關鍵的保護膜.磁存儲密度的飛速髮展可以使存儲密度上限達到1萬億字節/英吋2.這要求讀寫磁頭距離磁盤更近,即需要一層僅1 nm～2 nm厚的類金剛石薄膜.四麵體結構的非晶碳膜能夠滿足磁存儲技術的要求,即形成原子呎度平滑、連續、緻密,隻有幾箇原子層厚的碳膜.磁過濾陰極弧方法、等離子體增彊化學氣相沉積方法可用來製備符閤要求的超薄碳膜.
류금강석막재자반화독사자두지상형성일층관건적보호막.자존저밀도적비속발전가이사존저밀도상한체도1만억자절/영촌2.저요구독사자두거리자반경근,즉수요일층부1 nm～2 nm후적류금강석박막.사면체결구적비정탄막능구만족자존저기술적요구,즉형성원자척도평활、련속、치밀,지유궤개원자층후적탄막.자과려음겁호방법、등리자체증강화학기상침적방법가용래제비부합요구적초박탄막.
