天津理工大学学报
天津理工大學學報
천진리공대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2006年
1期
6-8
,共3页
徐晟%陈希明%杨晓苹%杨保和
徐晟%陳希明%楊曉蘋%楊保和
서성%진희명%양효평%양보화
声表面波%多层膜结构%金刚石薄膜%氧化锌压电薄膜
聲錶麵波%多層膜結構%金剛石薄膜%氧化鋅壓電薄膜
성표면파%다층막결구%금강석박막%양화자압전박막
对ZnO/IDT/金刚石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量.利用热丝化学气相沉积方法,在抛光Si基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化锌压电薄膜.研制的ZnO/IDT/金刚石/硅结构SAW滤波器,又指换能器(IDT)指宽1.7μm,SAW滤波器频率达到1.4 GHz.
對ZnO/IDT/金剛石多層結構高頻聲錶麵波濾波器進行模擬設計、樣件製備和測量.利用熱絲化學氣相沉積方法,在拋光Si基底沉積緻密、光滑的CVD金剛石膜;採用磁控濺射法在金剛石薄膜上製備C軸取嚮的氧化鋅壓電薄膜.研製的ZnO/IDT/金剛石/硅結構SAW濾波器,又指換能器(IDT)指寬1.7μm,SAW濾波器頻率達到1.4 GHz.
대ZnO/IDT/금강석다층결구고빈성표면파려파기진행모의설계、양건제비화측량.이용열사화학기상침적방법,재포광Si기저침적치밀、광활적CVD금강석막;채용자공천사법재금강석박막상제비C축취향적양화자압전박막.연제적ZnO/IDT/금강석/규결구SAW려파기,우지환능기(IDT)지관1.7μm,SAW려파기빈솔체도1.4 GHz.
