光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2007年
3期
462-466
,共5页
郭小伟%杜惊雷%陈铭勇%杜春雷
郭小偉%杜驚雷%陳銘勇%杜春雷
곽소위%두량뢰%진명용%두춘뢰
数字光刻%像素栅格%优化系统参量%成像质量
數字光刻%像素柵格%優化繫統參量%成像質量
수자광각%상소책격%우화계통삼량%성상질량
提出用优化成像系统设计参量的方法有效消除基于数字微镜阵列的栅格结构及其衍射对微结构成像质量的影响.模拟结果表明,当照明光源的波长为0.365 μm,系统的数值孔径为0.3左右,缩小倍率为10～20×时,栅格像的可见度在0.1以下,DMD的栅格结构对成像质量的影响大幅降低;对微透镜的成像分析发现,合理的成像系统结构参量能有效地减少栅格的影响.如果结合DMD显示图形的可编程特点,优化图形的结构或灰度,则能在像面获得较理想的曝光量分布,达到快速加工二维和三维微结构的目的.实验结果证实了优化系统参量可有效消除DMD栅格的影响.
提齣用優化成像繫統設計參量的方法有效消除基于數字微鏡陣列的柵格結構及其衍射對微結構成像質量的影響.模擬結果錶明,噹照明光源的波長為0.365 μm,繫統的數值孔徑為0.3左右,縮小倍率為10～20×時,柵格像的可見度在0.1以下,DMD的柵格結構對成像質量的影響大幅降低;對微透鏡的成像分析髮現,閤理的成像繫統結構參量能有效地減少柵格的影響.如果結閤DMD顯示圖形的可編程特點,優化圖形的結構或灰度,則能在像麵穫得較理想的曝光量分佈,達到快速加工二維和三維微結構的目的.實驗結果證實瞭優化繫統參量可有效消除DMD柵格的影響.
제출용우화성상계통설계삼량적방법유효소제기우수자미경진렬적책격결구급기연사대미결구성상질량적영향.모의결과표명,당조명광원적파장위0.365 μm,계통적수치공경위0.3좌우,축소배솔위10～20×시,책격상적가견도재0.1이하,DMD적책격결구대성상질량적영향대폭강저;대미투경적성상분석발현,합리적성상계통결구삼량능유효지감소책격적영향.여과결합DMD현시도형적가편정특점,우화도형적결구혹회도,칙능재상면획득교이상적폭광량분포,체도쾌속가공이유화삼유미결구적목적.실험결과증실료우화계통삼량가유효소제DMD책격적영향.
