功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
3期
515-518,522
,共5页
田彦宝%吉元%王俊忠%张隐奇%关宝璐%郭霞%沈光地
田彥寶%吉元%王俊忠%張隱奇%關寶璐%郭霞%瀋光地
전언보%길원%왕준충%장은기%관보로%곽하%침광지
电子背散射衍射(EBSD)%微区应力%GaAs-AlGaAs
電子揹散射衍射(EBSD)%微區應力%GaAs-AlGaAs
전자배산사연사(EBSD)%미구응력%GaAs-AlGaAs
采用电子背散射衍射(EBSD)技术,以30～40nm的空间分辨率,显示GaAs-AlGaAs外延结构中的应力分布.将菊池花样质量IQ和Hough峰,以及晶格错配和局部转动等测量参数作为应力敏感参数,分析GaAs-AlGaAs周期外延层中的应变状态.通过对菊池花样进行快速傅立叶变换和强度计算识别微区应变区域.
採用電子揹散射衍射(EBSD)技術,以30～40nm的空間分辨率,顯示GaAs-AlGaAs外延結構中的應力分佈.將菊池花樣質量IQ和Hough峰,以及晶格錯配和跼部轉動等測量參數作為應力敏感參數,分析GaAs-AlGaAs週期外延層中的應變狀態.通過對菊池花樣進行快速傅立葉變換和彊度計算識彆微區應變區域.
채용전자배산사연사(EBSD)기술,이30～40nm적공간분변솔,현시GaAs-AlGaAs외연결구중적응력분포.장국지화양질량IQ화Hough봉,이급정격착배화국부전동등측량삼수작위응력민감삼수,분석GaAs-AlGaAs주기외연층중적응변상태.통과대국지화양진행쾌속부립협변환화강도계산식별미구응변구역.
